クリーンルーム設備
作業員用エアーシャワー
作業の様子
（ヘリウムリークテスト）
部品用エアーシャワー
クリーンルーム外観
（手前側：予備室　，　奥側：クリーン室）
作業時 無負荷時 面積
クリーン室 クラス 　 1,000 クラス　　100 46m2
予備室 クラス　10,000 クラス　1,000 32m2
１．クリーンルームの面積・清浄度
クラス表示　米国連邦規格２０９Ｅ　0.5μ　１ft3
４．クリーンルーム内設備
　　　　設　　備　　名 　台数
　クリーンベンチ（クラス１０） 　　４
　エアーシャワー（作業員用） 　　１
　エアーシャワー（部品用） 　　１
　超音波洗浄機 　　１
　ヘリウムリークデテクター 　　２
２．温度・湿度調節
温度 ２０±５℃
湿度 ５０％以下
３．ＪＩＳ B 9920と米国連邦規格２０９Ｅとの比較
JIS B 9920 クラス３ クラス４ クラス５ クラス６ クラス７ クラス８
米国連邦規格209E クラス１ クラス10 クラス100 クラス1,000 クラス10,000 クラス100,000
注記　クリーンルームとは、「空気中の浮遊粒子を定められた制限値以下に制御された室」を示します。
当社のクリーンルームは、塵埃を対象とする　ＩＣＲ 〔INDUSTRIAL CREAN ROOM〕です。
当社では、約１７年前にクリーンルームを設置し、主に半導体製造装置用圧力計を
製造しております。パーティクルカウンターにて、常に環境を監視しています。
平成１３年８月に　３代目となるクリーンルームを新設いたしました。